Mô tả:
Bảng mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế chuyên biệt cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của hệ thống, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và truyền thông liên hệ giữa các hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại hiệu suất chống EMI, chống rung và phát thải khí thấp vượt trội để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch nút giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống điều khiển con của thiết bị quy trình Lam.
- Thiết kế bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu xuất sắc, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền dẫn cao, được tối ưu hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng quy trình.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ VME bus, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp sẵn mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh, giúp giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chủ lực của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, khóa liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.