Mô tả:
Các bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế chuyên biệt cho thiết bị khắc plasma và xử lý màng mỏng bán dẫn của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và truyền thông liên hệ giữa các hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và hiệu suất phát thải khí thấp, giúp duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu xuất sắc, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền dẫn cao, phù hợp hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành fab liên tục 24/7.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam; kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi theo thời gian thực và xử lý sự cố nhanh chóng nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, Kiyo series, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong môi trường chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + link sau khi gửi hàng. Giám sát toàn bộ quá trình bởi đội ngũ của chúng tôi.
Q5: Đóng gói & An toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.