Mô tả:
Đồng hồ đo áp suất điện dung MKS Baratron là các bộ chuyển đổi chân không/áp suất tuyệt đối cao cấp, có độ chính xác cao, trở thành tiêu chuẩn ngành cho thiết bị quy trình chân không trong sản xuất bán dẫn. Dựa trên công nghệ cảm biến màng điện dung đã được cấp bằng sáng chế, thiết bị cung cấp phép đo áp suất độc lập với loại khí, hoàn toàn không bị ảnh hưởng bởi thành phần khí trong quá trình. Được sử dụng rộng rãi cùng các nền tảng sản xuất wafer chính như AMAT, LAM Research, thiết bị mang lại khả năng điều khiển áp suất vòng kín siêu ổn định cho các hệ thống khắc, CVD, PVD, ALD và cấp khí, đảm bảo độ chính xác chân không buồng ổn định và nâng cao năng suất sản xuất trong ngành bán dẫn.
Thông số kỹ thuật chính:
- Độ chính xác hàng đầu lên đến ±0.25% giá trị đo, độ phân giải siêu mịn 0.01% toàn thang đo, độ ổn định dài hạn tuyệt vời và độ trôi tối thiểu nhằm đáp ứng các yêu cầu quy trình bán dẫn nghiêm ngặtMKS.
- Màng đo và các bộ phận tiếp xúc chất lỏng sử dụng hợp kim niken Inconel® / Incoloy® hoặc thép không gỉ 316L với cấu trúc hàn toàn phần, chống lại các loại khí quy trình đặc biệt ăn mòn. 100% được kiểm tra rò rỉ trước khi giao hàng để đảm bảo vận hành an toàn trong môi trường plasma khắc nghiệt.
- Phạm vi đo từ chân không siêu nhỏ đến áp suất cao: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Các model gia nhiệt (tùy chọn 45℃ / 100℃) giúp ngăn ngừa ngưng tụ của môi chất quy trình dễ bay hơi, tránh sai lệch đo lường.
Ứng dụng:
- Thiết bị nhà máy bán dẫn: hệ thống AMAT Centura/Endura, hệ thống khắc LAM Kiyo/2300
- Điều khiển chân không chính xác cho lắng đọng màng mỏng, khắc plasma và cấy ion
- Tủ khí MFC, hệ thống bơm chân không, phát hiện rò rỉ và khóa liên động an toàn áp suất
- Điện mặt trời, phủ LED, xử lý chân không dược phẩm và thử nghiệm chân không độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & An toàn
A: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.