Mô tả:
MKS Baratron là các đồng hồ đo điện dung áp suất chân không/áp suất tuyệt đối có độ chính xác cao, thuộc phân khúc cao cấp, là tiêu chuẩn ngành cho thiết bị quy trình chân không bán dẫn. Dựa trên công nghệ cảm biến màng điện dung đã được cấp bằng sáng chế, thiết bị cung cấp phép đo áp suất độc lập với loại khí, hoàn toàn không bị ảnh hưởng bởi thành phần khí quy trình. Được sử dụng rộng rãi cùng với AMAT, LAM Research và các nền tảng chế tạo wafer phổ biến, sản phẩm cung cấp khả năng điều khiển áp suất vòng kín cực kỳ ổn định cho các hệ thống khắc (etching), CVD, PVD, ALD và cung cấp khí, đảm bảo độ chính xác chân không buồng ổn định và cải thiện năng suất sản xuất bán dẫn.
Thông số kỹ thuật chính:
- Độ chính xác hàng đầu lên đến ±0.25% giá trị đo, độ phân giải siêu mịn 0.01% toàn thang đo (Full Scale), độ ổn định dài hạn tuyệt vời và độ trôi tối thiểu để đáp ứng các yêu cầu quy trình bán dẫn nghiêm ngặtMKS.
- Màng cảm biến và các bộ phận tiếp xúc chất lỏng sử dụng hợp kim niken Inconel® / Incoloy® hoặc thép không gỉ 316L với cấu trúc hàn toàn phần, chống chịu các loại khí quy trình đặc biệt ăn mòn. 100% được kiểm tra rò rỉ trước khi giao hàng để đảm bảo vận hành an toàn trong môi trường plasma khắc nghiệt.
- Bao phủ dải từ chân không siêu nhỏ đến áp suất cao: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Các model có gia nhiệt (tùy chọn 45℃ / 100℃) giúp ngăn ngừa ngưng tụ môi chất quy trình dễ bay hơi, tránh sai lệch đo lường.
Ứng dụng:
- Thiết bị nhà máy bán dẫn: AMAT Centura/Endura, hệ thống khắc LAM Kiyo/2300
- Kiểm soát chân không chính xác cho lắng đọng màng mỏng, khắc plasma và cấy ion
- Tủ khí MFC, hệ thống bơm chân không, phát hiện rò rỉ và liên động an toàn áp suất
- Điện mặt trời, phủ LED, xử lý chân không dược phẩm và kiểm tra chân không độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm
Câu hỏi thường gặp:
Câu 1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
Trả lời: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Câu 2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
Trả lời: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Câu 3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
Trả lời: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Câu 4: Vận chuyển & Theo dõi
Trả lời: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Mã theo dõi + liên kết sẽ được cung cấp sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi theo dõi toàn bộ quá trình.
Câu 5: Đóng gói & An toàn
Trả lời: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm và chống va đập.