Mô tả:
MKS Baratron capacitance manometers là các bộ chuyển đổi áp suất/chân không tuyệt đối cao cấp, độ chính xác cao, là tiêu chuẩn công nghiệp cho thiết bị quy trình chân không bán dẫn. Dựa trên công nghệ cảm biến màng tụ điện đã được cấp bằng sáng chế, thiết bị cung cấp phép đo áp suất độc lập với loại khí, hoàn toàn không bị ảnh hưởng bởi thành phần khí quy trình. Được sử dụng rộng rãi cùng AMAT, LAM Research và các nền tảng chế tạo wafer phổ biến, nó cung cấp điều khiển áp suất vòng kín siêu ổn định cho các hệ thống khắc (etching), CVD, PVD, ALD và cung cấp khí, đảm bảo độ chính xác chân không buồng ổn định và cải thiện năng suất sản xuất bán dẫn.
Thông số kỹ thuật chính:
- Độ chính xác hàng đầu lên đến ±0.25% của giá trị đo, độ phân giải siêu tinh 0.01% Full Scale, độ ổn định dài hạn tuyệt vời và độ trôi tối thiểu để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của quy trình bán dẫn MKS.
- Màng và các bộ phận tiếp xúc môi chất sử dụng hợp kim niken Inconel® / Incoloy® hoặc thép không gỉ 316L với cấu trúc hàn toàn phần, có khả năng chống lại các loại khí quy trình chuyên dụng ăn mòn. Được kiểm tra rò rỉ 100% trước khi giao hàng để đảm bảo vận hành an toàn trong môi trường plasma khắc nghiệt.
- Bao phủ dải từ chân không siêu thấp đến áp suất cao: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Các model có gia nhiệt (tùy chọn 45℃ / 100℃) giúp ngăn ngừa hiệu quả sự ngưng tụ của môi chất quy trình dễ bay hơi nhằm tránh sai lệch đo lường.
Ứng dụng:
- Thiết bị nhà máy bán dẫn: AMAT Centura/Endura, hệ thống khắc LAM Kiyo/2300
- Điều khiển chân không chính xác cho lắng đọng màng mỏng, khắc plasma và cấy ion
- Tủ khí MFC, hệ thống bơm chân không, phát hiện rò rỉ và liên động an toàn áp suất
- Điện mặt trời PV, phủ LED, xử lý chân không dược phẩm và kiểm tra chân không độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói gốc của hãng với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.