Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản, được thiết kế chuyên dụng cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối điện năng và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và phát thải khí thấp, đảm bảo vận hành ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp trung gian và bo mạch giao diện cảm biến, đáp ứng đầy đủ tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Thiết kế PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền dẫn cao, phù hợp hoàn hảo với xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Các linh kiện điện tử cấp công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu năng ổn định trong môi trường nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với các bộ điều khiển host Lam, module khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp sẵn các mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi theo thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh chóng, giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã tracking + link sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi theo dõi toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói nguyên hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.