Mô tả:
Các bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế chuyên biệt cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, chúng thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và độ thoát khí thấp để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, hiệu quả đảm bảo độ chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo VIOP I/O, bo thu thập nhiệt độ, bo điều khiển công suất, bo nút giao tiếp và bo giao diện cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị xử lý Lam.
- Bố cục PCB nhiều lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, được tối ưu hoàn hảo cho tín hiệu RF tần số cao và xử lý tín hiệu cảm biến yếu trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Mạch bảo vệ tích hợp chống quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh, giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, Kiyo series, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Hàng mới chính hãng. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4:Shipping & Tracking
A:DHL/FedEx/UPS available.Mã theo dõi + liên kết được cung cấp sau khi giao hàng. Giám sát toàn bộ quá trình bởi đội ngũ của chúng tôi.
Q5:Packaging & Safety
A:Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.