Mô tả:
MKS RF Matchers (còn gọi là RF matching boxes/networks) là các thiết bị ghép trở kháng tự động hiệu suất cao được thiết kế cho các hệ thống plasma công nghiệp và bán dẫn. Chúng tự động căn chỉnh trở kháng đầu ra 50Ω của các máy phát RF với trở kháng biến thiên của buồng plasma, thiết bị khắc (etchers), PECVD và các công cụ sputtering, giúp giảm thiểu công suất phản xạ và tối đa hóa hiệu suất truyền công suất. Với khả năng tinh chỉnh nhanh, che chắn chắc chắn và thiết kế gắn rack nhỏ gọn, chúng đảm bảo đánh lửa plasma ổn định, hiệu suất quy trình nhất quán và độ tin cậy sản xuất 24/7. Có sẵn ở tình trạng mới, tân trang và đã qua sử dụng được kiểm tra đầy đủ.
Thông số kỹ thuật chính:
- Ghép trở kháng tự động: Tinh chỉnh theo thời gian thực để khớp đầu ra máy phát 50Ω với trở kháng tải plasma biến thiên; giảm thiểu công suất phản xạ (thường
- Tốc độ tinh chỉnh nhanh: Đáp ứng tốc độ cao (
- Dải tần số & công suất rộng: Hỗ trợ 13.56MHz (tiêu chuẩn), 27.12MHz, 40.68MHz; mức công suất từ 300W đến 10kW
- Kết cấu bền bỉ: Vỏ kim loại chịu lực nặng với che chắn EMI/RFI; làm mát bằng không khí tiêu chuẩn (tùy chọn làm mát bằng nước cho các model công suất cao)
- Linh kiện chính xác: Tụ điện biến thiên, cuộn cảm và động cơ bước chất lượng cao cho tuổi thọ chu kỳ dài (hơn 1.000.000 chu kỳ)
Ứng dụng:
- Sản xuất bán dẫn: Khắc RIE/ICP, lắng đọng PECVD/LPCVD, tro hóa plasma, làm sạch wafer, hệ thống load lock
- Phủ chân không: Sputtering, bay hơi, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD cho quang học, màn hình và pin mặt trời
- Xử lý plasma công nghiệp: Hoạt hóa bề mặt, làm sạch, khắc và phủ cho kim loại, nhựa và gốm
- Nghiên cứu & phát triển: Phòng thí nghiệm đại học, viện nghiên cứu và dây chuyền sản xuất thử nghiệm cần cung cấp plasma RF ổn định
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, được giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt hàng từ nhà sản xuất—liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quy trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì chính hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.