Mô tả:
MKS RF Matchers (còn gọi là RF matching boxes/mạng phối hợp RF) là các thiết bị phối hợp trở kháng tự động hiệu suất cao được thiết kế cho hệ thống plasma bán dẫn và công nghiệp. Chúng tự động điều chỉnh trở kháng đầu ra 50Ω của máy phát RF để phù hợp với trở kháng biến thiên của buồng plasma, máy khắc (etcher), PECVD và thiết bị sputtering, giúp giảm công suất phản xạ và tối đa hóa hiệu suất truyền công suất. Với khả năng tinh chỉnh nhanh, che chắn chắc chắn và thiết kế gắn rack nhỏ gọn, chúng đảm bảo đánh lửa plasma ổn định, hiệu suất quy trình nhất quán và độ tin cậy sản xuất 24/7. Có sẵn dưới dạng mới, tân trang và đã qua sử dụng được kiểm tra đầy đủ.
Thông số kỹ thuật chính:
- Phối hợp trở kháng tự động: Tinh chỉnh theo thời gian thực để khớp đầu ra máy phát 50Ω với trở kháng tải plasma biến thiên; giảm công suất phản xạ (thường
- Tốc độ tinh chỉnh nhanh: Phản hồi tốc độ cao (
- Dải tần số & công suất rộng: Hỗ trợ 13.56MHz (tiêu chuẩn), 27.12MHz, 40.68MHz; mức công suất từ 300W đến 10kW
- Cấu trúc bền bỉ: Vỏ kim loại chịu lực cao với che chắn EMI/RFI; làm mát bằng không khí tiêu chuẩn (tùy chọn làm mát bằng nước cho model công suất cao)
- Linh kiện chính xác: Tụ điện biến thiên, cuộn cảm và động cơ bước chất lượng cao cho tuổi thọ chu kỳ dài (trên 1.000.000 chu kỳ)
Ứng dụng:
- Sản xuất bán dẫn: khắc RIE/ICP, lắng đọng PECVD/LPCVD, tro hóa plasma, làm sạch wafer, hệ thống load lock
- Phủ chân không: sputtering, bay hơi, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD cho quang học, màn hình và pin năng lượng mặt trời
- Xử lý plasma công nghiệp: hoạt hóa bề mặt, làm sạch, khắc và phủ cho kim loại, nhựa và gốm
- Nghiên cứu & phát triển: phòng thí nghiệm đại học, viện nghiên cứu và dây chuyền sản xuất thử nghiệm cần cung cấp plasma RF ổn định
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: DHL/FedEx/UPS có sẵn. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi theo dõi toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.