Mô tả:
MKS RF Matchers (còn được gọi là hộp/mạng phối hợp RF) là các thiết bị phối hợp trở kháng tự động hiệu suất cao được thiết kế cho các hệ thống plasma công nghiệp và bán dẫn. Chúng tự động điều chỉnh trở kháng đầu ra 50Ω của bộ phát RF với trở kháng biến thiên của các buồng plasma, máy khắc (etcher), PECVD và thiết bị sputtering, giảm thiểu công suất phản xạ và tối đa hóa hiệu suất truyền công suất. Với khả năng tinh chỉnh nhanh, che chắn (shielding) chắc chắn và thiết kế dạng rack-mount nhỏ gọn, chúng đảm bảo đánh lửa plasma ổn định, hiệu suất quy trình nhất quán và độ tin cậy sản xuất 24/7. Có sẵn ở trạng thái mới, tân trang (refurbished) và đã qua sử dụng được kiểm tra đầy đủ.
Thông số kỹ thuật chính:
- Phối hợp trở kháng tự động: Điều chỉnh theo thời gian thực để khớp đầu ra máy phát 50Ω với trở kháng tải plasma biến thiên; giảm thiểu công suất phản xạ (thường
- Tốc độ tinh chỉnh nhanh: phản hồi tốc độ cao (
- Dải tần số & công suất rộng: hỗ trợ 13.56MHz (tiêu chuẩn), 27.12MHz, 40.68MHz; công suất từ 300W đến 10kW
- Kết cấu bền chắc: vỏ kim loại chịu lực cao với che chắn EMI/RFI; làm mát bằng không khí tiêu chuẩn (tùy chọn làm mát bằng nước cho model công suất cao)
- Thành phần chính xác: tụ điện biến thiên, cuộn cảm và động cơ bước chất lượng cao cho tuổi thọ chu kỳ dài (hơn 1.000.000 chu kỳ)
Ứng dụng:
- Sản xuất bán dẫn: khắc RIE/ICP, lắng đọng PECVD/LPCVD, tro hóa plasma, làm sạch wafer, hệ thống load lock
- Phủ chân không: sputtering, bay hơi, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD cho quang học, màn hình và pin mặt trời
- Xử lý plasma công nghiệp: hoạt hóa bề mặt, làm sạch, khắc và phủ cho kim loại, nhựa và gốm
- Nghiên cứu & Phát triển: phòng thí nghiệm đại học, viện nghiên cứu và dây chuyền sản xuất thử nghiệm yêu cầu cung cấp plasma RF ổn định
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt hàng từ nhà sản xuất—liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + link sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi theo dõi toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì gốc của hãng với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.