Mô tả:
MKS RF Matchers (còn gọi là hộp/mạng phối hợp RF) là các thiết bị phối hợp trở kháng tự động hiệu suất cao được thiết kế cho hệ thống plasma công nghiệp và bán dẫn. Chúng tự động khớp trở kháng đầu ra 50Ω của bộ phát RF với trở kháng biến thiên của buồng plasma, máy khắc (etchers), PECVD và thiết bị sputtering, giúp giảm công suất phản xạ và tối đa hóa hiệu suất truyền công suất. Với khả năng tinh chỉnh nhanh, che chắn chắc chắn và thiết kế gắn tủ rack nhỏ gọn, chúng đảm bảo đánh lửa plasma ổn định, hiệu suất quy trình nhất quán và độ tin cậy sản xuất 24/7. Có sẵn ở tình trạng mới, tân trang và đã qua sử dụng nhưng được kiểm tra đầy đủ.
Thông số kỹ thuật chính:
- Phối hợp trở kháng tự động: Tinh chỉnh theo thời gian thực để khớp đầu ra 50Ω của máy phát với trở kháng tải plasma biến thiên; giảm thiểu công suất phản xạ (thường
- Tốc độ tinh chỉnh nhanh: Phản hồi tốc độ cao (
- Dải tần số & công suất rộng: Hỗ trợ 13.56MHz (tiêu chuẩn), 27.12MHz, 40.68MHz; mức công suất từ 300W đến 10kW
- Kết cấu bền chắc: Vỏ kim loại chịu tải nặng với che chắn EMI/RFI; làm mát bằng không khí tiêu chuẩn (tùy chọn làm mát bằng nước cho các model công suất cao)
- Linh kiện chính xác: Tụ điện biến thiên chất lượng cao, cuộn cảm và động cơ bước cho tuổi thọ chu kỳ dài (1,000,000+ chu kỳ)
Ứng dụng:
- Sản xuất bán dẫn: Khắc RIE/ICP, lắng đọng PECVD/LPCVD, tro hóa plasma, làm sạch wafer, hệ thống load lock
- Phủ chân không: Sputtering, bay hơi, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD cho quang học, màn hình và pin mặt trời
- Xử lý plasma công nghiệp: Hoạt hóa bề mặt, làm sạch, khắc và phủ cho kim loại, nhựa và gốm
- Nghiên cứu & phát triển: Phòng thí nghiệm đại học, viện nghiên cứu và dây chuyền sản xuất thử nghiệm cần cung cấp plasma RF ổn định
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + link sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.