Mô tả:
MKS Baratron capacitance manometers là các bộ chuyển đổi chân không/áp suất tuyệt đối có độ chính xác cao, cao cấp, là tiêu chuẩn công nghiệp cho thiết bị quy trình chân không trong ngành bán dẫn. Dựa trên công nghệ cảm biến màng điện dung đã được cấp bằng sáng chế, thiết bị cung cấp phép đo áp suất độc lập với loại khí, hoàn toàn không bị ảnh hưởng bởi thành phần khí quy trình. Được tích hợp rộng rãi với AMAT, LAM Research và các nền tảng chế tạo wafer chính thống, thiết bị cung cấp khả năng điều khiển áp suất vòng kín siêu ổn định cho các hệ thống khắc (etching), CVD, PVD, ALD và hệ thống cấp khí, đảm bảo độ chính xác chân không buồng phản ứng ổn định và cải thiện năng suất sản xuất trong chế tạo bán dẫn.
Thông số kỹ thuật chính:
- Độ chính xác hàng đầu lên tới ±0.25% giá trị đọc, độ phân giải siêu mịn 0.01% toàn thang đo, độ ổn định dài hạn tuyệt vời và độ trôi tối thiểu để đáp ứng các yêu cầu quy trình bán dẫn nghiêm ngặtMKS.
- Màng đo và các bộ phận tiếp xúc môi chất sử dụng hợp kim niken Inconel® / Incoloy® hoặc thép không gỉ 316L với cấu trúc hàn hoàn toàn, chống lại các loại khí quy trình đặc biệt có tính ăn mòn. 100% được kiểm tra rò rỉ trước khi giao hàng để đảm bảo vận hành an toàn trong môi trường plasma khắc nghiệt.
- Phạm vi đo từ chân không siêu tinh đến áp suất cao: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Các mẫu có gia nhiệt (tùy chọn 45℃ / 100℃) giúp ngăn ngừa hiệu quả sự ngưng tụ của các môi chất quy trình dễ bay hơi nhằm tránh sai lệch phép đo.
Ứng dụng:
- Thiết bị nhà máy bán dẫn: AMAT Centura/Endura, hệ thống khắc LAM Kiyo/2300
- Điều khiển chân không chính xác cho lắng đọng màng mỏng, khắc plasma và cấy ion
- Tủ khí MFC, hệ thống bơm chân không, phát hiện rò rỉ và liên động an toàn áp suất
- Điện mặt trời, phủ LED, xử lý chân không dược phẩm và kiểm tra chân không độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm
Câu hỏi thường gặp:
Câu 1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
Trả lời: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Câu 2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
Trả lời: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Câu 3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
Trả lời: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Câu 4: Vận chuyển & theo dõi
Trả lời: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Câu 5: Đóng gói & an toàn
Trả lời: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.