Mô tả:
MKS Baratron capacitance manometers là các cảm biến áp suất/chân không tuyệt đối độ chính xác cao cao cấp, là tiêu chuẩn ngành cho thiết bị quy trình chân không trong bán dẫn. Dựa trên công nghệ cảm biến màng tụ điện được cấp bằng sáng chế, thiết bị cung cấp phép đo áp suất độc lập với loại khí, hoàn toàn không bị ảnh hưởng bởi thành phần khí quy trình. Được sử dụng rộng rãi cùng AMAT, LAM Research và các nền tảng chế tạo wafer phổ biến, nó cung cấp điều khiển áp suất vòng kín siêu ổn định cho các hệ thống khắc (etching), CVD, PVD, ALD và cấp khí, đảm bảo độ chính xác chân không buồng ổn định và cải thiện năng suất sản xuất bán dẫn.
Thông số chính:
- Độ chính xác hàng đầu lên đến ±0.25% giá trị đo, độ phân giải siêu mịn 0.01% toàn thang đo, độ ổn định dài hạn tuyệt vời và độ trôi tối thiểu đáp ứng các yêu cầu quy trình bán dẫn MKS.
- Màng chắn và các bộ phận tiếp xúc môi chất sử dụng hợp kim niken Inconel® / Incoloy® hoặc thép không gỉ 316L với cấu trúc hàn toàn phần, chống chịu các khí quy trình chuyên dụng ăn mòn. 100% được kiểm tra rò rỉ trước khi giao hàng để đảm bảo vận hành an toàn trong môi trường plasma khắc nghiệt.
- Bao phủ từ chân không siêu nhỏ đến áp suất cao: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Các model có gia nhiệt (tùy chọn 45℃ / 100℃) giúp ngăn ngừa hiệu quả sự ngưng tụ của môi chất quy trình dễ bay hơi nhằm tránh sai lệch đo lường.
Ứng dụng:
- Thiết bị nhà máy bán dẫn: AMAT Centura/Endura, các hệ thống khắc LAM Kiyo/2300
- Điều khiển chân không chính xác cho lắng đọng màng mỏng, khắc plasma và cấy ion
- Tủ khí MFC, hệ thống bơm chân không, phát hiện rò rỉ và liên động an toàn áp suất
- Điện mặt trời (Solar PV), phủ LED, xử lý chân không dược phẩm và thử nghiệm chân không độ chính xác cao trong phòng thí nghiệm
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
A: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.