Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của hệ thống, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt cùng công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại khả năng chống EMI, chống rung và hiệu suất phát thải khí thấp vượt trội để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo hiệu suất chính xác của quy trình wafer và năng suất sản xuất của nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu xuất sắc, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, được tối ưu hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Mạch bảo vệ tích hợp chống quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi theo thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh, giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc phổ biến của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong môi trường chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với máy chủ thiết bị
FAQ:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Theo dõi toàn bộ quá trình bởi đội ngũ của chúng tôi.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.