Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của Lam Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối điện năng và truyền thông liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại khả năng chống EMI, chống rung và phát khí bay hơi thấp vượt trội để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất của fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị xử lý Lam.
- Bố cục PCB nhiều lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, được tối ưu hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng quá trình.
- Các linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển chính Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các đơn vị truyền động servo.
- Mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt tích hợp; cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và xử lý sự cố nhanh nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chủ lực của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
A: T/T, Paypal supported.
A: DHL/FedEx/UPS supported.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
Đối với các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, sẽ được giao trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
DHL/FedEx/UPS có sẵn. Mã theo dõi + liên kết được cung cấp sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
Bao bì chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.