Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc plasma và xử lý màng mỏng bán dẫn của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của hệ thống, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ giữa các hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt cùng công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và phát khí thấp, đảm bảo vận hành ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm bo mạch nút CPU chính, bo I/O VIOP, bo thu thập nhiệt độ, bo điều khiển nguồn, bo giao tiếp trung gian và bo giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống điều khiển con của thiết bị xử lý Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, thích ứng hoàn hảo với tín hiệu RF tần số cao và xử lý tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh chóng nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chủ lực của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, khóa liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất — vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì gốc của hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm và chống va đập.