Mô tả:
Các bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các bộ mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc và xử lý màng mỏng bán dẫn của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic theo thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối điện năng và giao tiếp giữa các hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB nhiều lớp mật độ cao, chúng cung cấp hiệu suất chống EMI, chống rung và khí thải thấp vượt trội để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, đảm bảo hiệu quả độ chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất trong nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dãy sản phẩm đầy đủ bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo mạch VIOP I/O, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch điều khiển nguồn, bo mạch giao tiếp trung gian và bo mạch giao diện cảm biến, hoàn toàn tương thích với tất cả các hệ thống điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Bố trí PCB nhiều lớp cao cấp với điều khiển trở kháng, khả năng chống nhiễu xuất sắc, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, thích hợp hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Các linh kiện điện tử ô tô cấp công nghiệp, phạm vi nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và hoạt động liên tục 24/7 trong nhà máy.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển chủ Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ điều khiển servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; các cổng gỡ lỗi dự phòng cho phép đọc mã lỗi theo thời gian thực và khắc phục nhanh để giảm thời gian ngừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chủ đạo của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý chân không wafer
- Điều khiển theo thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, khóa an toàn F&G và tương tác dữ liệu với thiết bị chủ
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Sản phẩm chính hãng hoàn toàn mới. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất — liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian dự kiến.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp số theo dõi và liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & An toàn
A: Bao bì thương hiệu chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt, thùng kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & va đập.