Mô tả:
Bo mạch điều khiển nhiệt độ Lam Research là một thành phần quản lý nhiệt cốt lõi cho các hệ thống khắc (etch), lắng đọng (deposition) và xử lý wafer trong bán dẫn. Nó cung cấp khả năng điều chỉnh nhiệt độ đa kênh với độ chính xác cao, nhằm duy trì độ đồng nhất nhiệt nghiêm ngặt trên toàn bộ các buồng quy trình, chuck tĩnh điện (ESC) và bàn wafer. Được thiết kế cho vận hành 24/7 trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và plasma, nó đảm bảo nhiệt độ wafer ổn định, giúp ổn định các công thức quy trình và tối đa hóa năng suất sản xuất. Các bo mạch OEM chính hãng Lam đảm bảo khả năng tương thích plug-and-play, hiệu chuẩn chính xác và độ tin cậy lâu dài cho các nhà máy bán dẫn công nghệ tiên tiến (2nm/3nm).
Thông số kỹ thuật chính:
- Cụm PCB Lam Research chính hãng, tương thích hoàn toàn với máy khắc Kiyo, nền tảng ExAL và các hệ thống CVD/PVD. Được hiệu chuẩn tại nhà máy và kiểm thử để tích hợp liền mạch.
- Hỗ trợ 16–24 kênh (đầu vào Pt100 RTD/cặp nhiệt điện); đạt độ ổn định ±0.1°C trong dải 25–150°C nhờ thuật toán PID tự điều chỉnh.
- Điều khiển vòng kín cho gia nhiệt/làm mát (tương thích TEC); phản hồi cảm biến thời gian thực với tần số lấy mẫu 500Hz; bù trôi môi trường và độ trễ cảm biến.
- Đạt chuẩn chân không (≤1×10⁻⁶ Torr), được che chắn EMI, chống rung; hoạt động ổn định ở 0–55°C với khả năng chống nhiễu plasma và RF.
- Thiết kế mô-đun, hot-swappable để thay thế nhanh; chẩn đoán tích hợp về nhiệt độ, tình trạng cảm biến và ghi lỗi; giảm thời gian dừng máy không kế hoạch.
Ứng dụng điển hình:
- Các hệ thống khắc plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, dòng 9000)
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD/PVD/ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm & ESCs
- Nhà máy bán dẫn logic/bộ nhớ tiên tiến (nút 2nm/3nm)
- Bảo trì nhà máy bán dẫn, phụ tùng thay thế & nâng cấp
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, được vận chuyển trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì chính hãng với lớp bảo vệ gia cố (xốp, thùng kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.