Mô tả:
Bảng điều khiển kiểm soát nhiệt độ Lam Research là một thành phần quản lý nhiệt cốt lõi cho các hệ thống khắc (etch), lắng đọng (deposition) và xử lý wafer trong bán dẫn. Nó cung cấp khả năng điều chỉnh nhiệt độ đa kênh, độ chính xác cao để duy trì sự đồng đều nhiệt nghiêm ngặt trên các buồng quy trình, chuck tĩnh điện (ESC) và bàn wafer. Được thiết kế cho vận hành 24/7 trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và plasma, nó đảm bảo nhiệt độ wafer ổn định, ổn định các quy trình công nghệ và tối đa hóa năng suất sản xuất. Các bo mạch OEM chính hãng của Lam đảm bảo khả năng tương thích plug-and-play, hiệu chuẩn chính xác và độ tin cậy lâu dài cho các nhà máy bán dẫn công nghệ tiên tiến (2nm/3nm).
Thông số kỹ thuật chính:
- Cụm PCB Lam Research nguyên bản, hoàn toàn tương thích với các máy khắc Kiyo, nền tảng ExAL và các hệ thống CVD/PVD. Được hiệu chuẩn tại nhà máy và kiểm tra để tích hợp liền mạch.
- Hỗ trợ 16–24 kênh (ngõ vào Pt100 RTD/cặp nhiệt điện); đạt độ ổn định ±0.1°C trong dải 25–150°C thông qua các thuật toán PID tự điều chỉnh.
- Điều khiển vòng kín cho gia nhiệt/làm mát (tương thích TEC); phản hồi cảm biến thời gian thực với tần số lấy mẫu 500Hz; bù trôi môi trường và độ trễ cảm biến.
- Được đánh giá cho môi trường chân không (≤1×10⁻⁶ Torr), có che chắn EMI, chống rung; hoạt động ổn định ở 0–55°C với khả năng chống nhiễu plasma và RF.
- Thiết kế dạng mô-đun, có thể thay nóng để thay thế nhanh; chẩn đoán tích hợp cho nhiệt độ, tình trạng cảm biến và ghi log lỗi; giảm thời gian dừng máy ngoài kế hoạch.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, dòng 9000)
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD/PVD/ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm và ESC
- Nhà máy bán dẫn logic/bộ nhớ tiên tiến (nút công nghệ 2nm/3nm)
- Bảo trì nhà máy bán dẫn, linh kiện thay thế & nâng cấp
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quy trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì chính hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.