Mô tả:
Bảng mạch điều khiển nhiệt độ Lam Research là một thành phần quản lý nhiệt cốt lõi cho các hệ thống khắc (etch), lắng đọng (deposition) và xử lý wafer bán dẫn. Nó cung cấp khả năng điều khiển nhiệt độ đa kênh, độ chính xác cao để duy trì độ đồng đều nhiệt nghiêm ngặt trên các buồng quy trình, mâm hút tĩnh điện (ESCs) và bàn wafer. Được thiết kế cho hoạt động 24/7 trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và plasma, đảm bảo nhiệt độ wafer ổn định, ổn định các quy trình (recipes) và tối đa hóa sản lượng. Bo mạch OEM chính hãng Lam đảm bảo khả năng tương thích plug-and-play, hiệu chuẩn chính xác và độ tin cậy dài hạn cho các nhà máy bán dẫn node tiên tiến (2nm/3nm).
Thông số kỹ thuật chính:
- Cụm PCB Lam Research chính hãng, hoàn toàn tương thích với các máy khắc Kiyo, nền tảng ExAL và các hệ thống CVD/PVD. Được hiệu chuẩn tại nhà máy và kiểm tra để tích hợp liền mạch.
- Hỗ trợ 16–24 kênh (đầu vào Pt100 RTD/cặp nhiệt điện); đạt độ ổn định ±0.1°C trong dải 25–150°C nhờ thuật toán PID tự điều chỉnh.
- Điều khiển vòng kín cho gia nhiệt/làm mát (tương thích TEC); phản hồi cảm biến thời gian thực với tần số lấy mẫu 500Hz; bù trôi môi trường và độ trễ cảm biến.
- Đạt tiêu chuẩn chân không (≤1×10⁻⁶ Torr), chống nhiễu EMI, chống rung; hoạt động ổn định ở 0–55°C với khả năng miễn nhiễm plasma và nhiễu RF.
- Thiết kế mô-đun, hot-swappable để thay thế nhanh; chẩn đoán tích hợp cho nhiệt độ, tình trạng cảm biến và ghi log lỗi; giảm thời gian dừng máy ngoài kế hoạch.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, series 9000)
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD/PVD/ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm & ESCs
- Nhà máy logic/bộ nhớ tiên tiến (node 2nm/3nm)
- Bảo trì nhà máy bán dẫn, phụ tùng & nâng cấp
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Mã theo dõi + link được cung cấp sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.