Mô tả:
Bo mạch điều khiển nhiệt độ Lam Research là một thành phần quản lý nhiệt cốt lõi cho các hệ thống khắc (etch), lắng đọng (deposition) và xử lý wafer trong bán dẫn. Nó cung cấp khả năng điều khiển nhiệt độ đa kênh, độ chính xác cao nhằm duy trì tính đồng đều nhiệt nghiêm ngặt trên toàn bộ các buồng quy trình, electrostatic chucks (ESCs) và các bàn wafer. Được thiết kế cho vận hành 24/7 trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và plasma, nó đảm bảo nhiệt độ wafer ổn định, giúp ổn định các công thức quy trình và tối đa hóa năng suất sản xuất. Các bo mạch OEM Lam chính hãng đảm bảo khả năng tương thích plug-and-play, hiệu chuẩn chính xác và độ tin cậy lâu dài cho các nhà máy bán dẫn công nghệ tiên tiến (2nm/3nm).
Thông số kỹ thuật chính:
- Cụm PCB Lam Research chính hãng, tương thích hoàn toàn với các hệ thống khắc Kiyo, nền tảng ExAL và các hệ thống CVD/PVD. Được hiệu chuẩn và kiểm tra tại nhà máy để tích hợp liền mạch.
- Hỗ trợ 16–24 kênh (ngõ vào Pt100 RTD/thermocouple); đạt độ ổn định ±0.1°C trong dải 25–150°C thông qua thuật toán PID tự động điều chỉnh.
- Điều khiển vòng kín cho gia nhiệt/làm mát (tương thích TEC); phản hồi cảm biến theo thời gian thực với tần số lấy mẫu 500Hz; bù trôi môi trường và độ trễ cảm biến.
- Đạt chuẩn chân không (≤1×10⁻⁶ Torr), chống nhiễu EMI, chống rung; hoạt động ổn định trong khoảng 0–55°C với khả năng chống nhiễu plasma và RF.
- Thiết kế mô-đun có thể thay nóng (hot-swappable) để thay thế nhanh; chẩn đoán tích hợp cho nhiệt độ, tình trạng cảm biến và ghi lỗi; giảm thời gian dừng máy ngoài kế hoạch.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Hệ thống khắc plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, dòng 9000)
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD/PVD/ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm & ESCs
- Nhà máy bán dẫn logic/bộ nhớ công nghệ cao (node 2nm/3nm)
- Bảo trì nhà máy bán dẫn, linh kiện thay thế & nâng cấp
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Vận chuyển & theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm và chống va đập.