Mô tả:
Điện cực và các bộ phận cách điện của Lam Research là các vật tư tiêu hao và linh kiện cấu trúc quan trọng cho thiết bị khắc plasma, lắng đọng và xử lý plasma trong sản xuất bán dẫn. Các điện cực tạo ra và duy trì plasma ổn định cho quá trình chế tạo wafer, trong khi các bộ phận cách điện hiệu suất cao cô lập mạch và linh kiện để ngăn rò rỉ điện, phóng hồ quang và đoản mạch. Được làm từ vật liệu chuyên dụng cấp bán dẫn, các bộ phận này có điện trở tuyệt vời, độ ổn định nhiệt cao và khả năng chống ăn mòn plasma. Chúng hoạt động tin cậy trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và tần số RF mạnh, đảm bảo vận hành ổn định lâu dài của các buồng quy trình và năng suất sản xuất ổn định. Tất cả các sản phẩm đều là linh kiện OEM chính hãng với khả năng tương thích hoàn hảo cho các công cụ xử lý wafer của Lam Research.
Thông số kỹ thuật chính:
- Sử dụng vật liệu dẫn điện độ tinh khiết cao cho điện cực và gốm/thạch anh cao cấp cho bộ phận cách điện, mang lại độ bền vượt trội trước ăn mòn plasma.
- Điện cực đảm bảo phân bố plasma đồng đều; bộ phận cách điện cung cấp độ bền cách điện vượt trội để tránh sự cố phóng điện và hư hỏng thiết bị.
- Chịu được nhiệt độ cao, sốc nhiệt và ứng suất cơ học, duy trì kích thước và hiệu suất chính xác trong vận hành liên tục 24/7.
- Gia công với dung sai chặt chẽ, khớp hoàn hảo với cấu trúc thiết bị gốc, đảm bảo lắp đặt liền mạch và kết quả quy trình ổn định.
- Tương thích hoàn toàn với máy khắc Lam, CVD, PVD và các hệ thống chân không liên quan. Dễ dàng thay thế để giảm thiểu thời gian ngừng sản xuất.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma Lam Research
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD, PVD và ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm
- Bảo trì dây chuyền sản xuất bán dẫn và thay thế linh kiện
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, được giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì gốc của thương hiệu với bảo vệ gia cố (xốp, thùng kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm và chống va đập.