Mô tả:
Các điện cực và bộ phận cách điện của Lam Research là các vật tư tiêu hao quan trọng và các bộ phận kết cấu cho thiết bị khắc (etching), lắng đọng (deposition) và xử lý plasma bán dẫn. Các điện cực tạo ra và duy trì plasma ổn định cho quá trình chế tạo wafer, trong khi các bộ cách điện hiệu suất cao cách ly các mạch và linh kiện để ngăn rò điện, phóng hồ quang và đoản mạch. Được làm từ các vật liệu cấp bán dẫn chuyên dụng, các bộ phận này có khả năng chịu điện tốt, độ ổn định nhiệt cao và chống ăn mòn bởi plasma vượt trội. Chúng hoạt động ổn định trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và RF mạnh, đảm bảo buồng xử lý vận hành ổn định lâu dài và năng suất sản xuất đồng nhất. Tất cả sản phẩm đều là linh kiện OEM chính hãng với khả năng tương thích hoàn hảo cho các công cụ xử lý wafer của Lam Research.
Thông số kỹ thuật chính:
- Sử dụng vật liệu dẫn điện độ tinh khiết cao cho điện cực và gốm/thạch anh cao cấp cho bộ cách điện, mang lại độ bền vượt trội trước ăn mòn plasma.
- Điện cực đảm bảo phân bố plasma đồng đều; bộ cách điện cung cấp khả năng cách điện vượt trội để tránh sự cố phóng điện và hư hỏng thiết bị.
- Chịu được nhiệt độ cao, sốc nhiệt và ứng suất cơ học, duy trì kích thước chính xác và hiệu suất trong quá trình vận hành liên tục 24/7.
- Gia công với dung sai chặt chẽ, khớp hoàn hảo với cấu trúc thiết bị gốc để lắp đặt liền mạch và cho kết quả quy trình ổn định.
- Tương thích hoàn toàn với các hệ thống khắc Lam, CVD, PVD và các hệ thống chân không liên quan. Dễ thay thế để giảm thiểu thời gian ngừng sản xuất.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma Lam Research
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD, PVD và ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm
- Bảo trì dây chuyền sản xuất bán dẫn và thay thế linh kiện dự phòng
Câu hỏi thường gặp:
Q1:Sản phẩm như thế nào và chế độ bảo hành ra sao?
A:Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2:Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A:Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4:Vận chuyển & Theo dõi
A:Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Mã theo dõi + link được cung cấp sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5:Đóng gói & An toàn
A:Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.