Mô tả:
Máy quang phổ sợi quang LAM Research là các thiết bị giám sát quang học có độ chính xác cao được tích hợp cho thiết bị xử lý tấm wafer bán dẫn. Chủ yếu được kết hợp với các mô-đun quang học chuyên nghiệp, chúng áp dụng thiết kế truyền dẫn sợi quang để thu nhận phổ phát xạ plasma, phản xạ và truyền qua bên trong buồng quy trình. Được sử dụng rộng rãi cho phát hiện điểm kết thúc khắc (etch endpoint), đo lường màng mỏng và giám sát điều kiện plasma theo thời gian thực, các thiết bị này đảm bảo hiệu suất quy trình ổn định, cải thiện năng suất sản xuất và giảm sản phẩm lỗi trong các quy trình khắc, CVD, PVD và các quy trình sản xuất chân không khác. Là các thành phần tương thích OEM nguyên bản, chúng có khả năng tương thích tuyệt vời và độ tin cậy lâu dài cho toàn bộ dòng thiết bị quy trình LAM.
Thông số kỹ thuật chính:
- Được trang bị cảm biến CCD/PMT độ nhạy cao, mang lại độ phân giải phổ vượt trội và nhiễu thấp. Bao phủ dải bước sóng UV-visible để đáp ứng nhu cầu giám sát quy trình bán dẫn đa dạng.
- Giao diện sợi quang SMA tiêu chuẩn hỗ trợ truyền tín hiệu đường dài. Đầu dò tương thích chân không hoạt động ổn định trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và plasma.
- Phân tích phổ theo thời gian thực cho phép xác định chính xác điểm kết thúc khắc, đo độ dày màng mỏng và tính chất quang học, hiệu quả trong việc tránh khắc quá mức hoặc khắc thiếu.
- Cổng giao tiếp Ethernet và RS-232 tích hợp, hoàn toàn tương thích với các giao thức thiết bị LAM để đảm bảo trao đổi dữ liệu và liên kết hệ thống liền mạch.
- Cấu trúc nhỏ gọn, chắc chắn với khả năng chống rung và chống nhiễu. Hỗ trợ vận hành liên tục 24/7 và dễ dàng thay thế tại chỗ.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma, thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD, PVD và ALD
- Phát hiện điểm kết thúc cho các quy trình khắc wafer
- Đo độ dày màng mỏng và hệ số phản xạ in-situ
- Phân tích trạng thái plasma theo thời gian thực cho buồng quy trình chân không
- LAM Research 2300, 9400, ExAL và các nền tảng quy trình chính thống khác
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt hàng từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ của chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.