Mô tả:
LAM Research PCB control boards là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối điện năng và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại hiệu suất chống EMI, chống rung và độ thoát khí thấp vượt trội để duy trì vận hành ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, đảm bảo hiệu quả chính xác của quy trình wafer và năng suất sản xuất fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo VIOP I/O, bo thu thập nhiệt độ, bo điều khiển công suất, bo giao tiếp và bo giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống điều khiển con của thiết bị xử lý Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, được tối ưu hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử tiêu chuẩn công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển chủ Lam, module khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, khóa liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng kín, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.