Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản được thiết kế chuyên biệt cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt cùng công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI, chống rung và giảm phát thải khí vượt trội, giúp duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch điều khiển nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, đáp ứng hoàn toàn tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị xử lý Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, được tối ưu hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng quá trình.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu năng ổn định trong môi trường nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy bán dẫn.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển chủ Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; cổng gỡ lỗi dự phòng để đọc mã lỗi theo thời gian thực và xử lý sự cố nhanh chóng, giúp giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc plasma chủ lực của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong môi trường chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt hàng từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói nguyên bản của hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.