Mô tả:
LAM Research PCB control boards là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản được thiết kế chuyên dụng cho thiết bị khắc (etching) bán dẫn và thiết bị xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và truyền thông liên hệ giữa các hệ thống. Được sản xuất theo các tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và phát thải khí thấp để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất của fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Dòng sản phẩm đầy đủ bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo I/O VIOP, bo thu thập nhiệt độ, bo điều khiển nguồn, bo nút truyền thông và bo giao tiếp cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống điều khiển con của thiết bị quy trình Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, phù hợp hoàn hảo với xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Các linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host của Lam, module khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và xử lý sự cố nhanh chóng nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói nguyên bản của hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.