Mô tả:
Các bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc plasma và xử lý màng mỏng bán dẫn Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của hệ thống, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối điện năng và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt cùng công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại hiệu suất chống EMI, chống rung và phát thải khí thấp vượt trội để duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, đảm bảo hiệu quả chính xác quy trình wafer và năng suất nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch điều khiển nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Thiết kế PCB nhiều lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, phù hợp hoàn hảo với xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định trong môi trường nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển trung tâm Lam, module khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi theo thời gian thực và xử lý sự cố nhanh chóng nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, Kiyo series, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Hàng chính hãng mới hoàn toàn. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal được hỗ trợ.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A:DHL/FedEx/UPS có sẵn. Mã theo dõi + liên kết được cung cấp sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & An toàn
A:Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.