Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế chuyên biệt cho thiết bị khắc plasma bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của hệ thống, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối điện năng và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống nhiễu điện từ (EMI), chống rung và độ thoát khí thấp vượt trội nhằm duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất nhà máy.
Thông số chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm bo mạch node CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, đáp ứng đầy đủ tất cả các hệ thống điều khiển phụ của thiết bị xử lý Lam.
- Thiết kế PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền dẫn cao, tối ưu cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Thành phần điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu năng ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy bán dẫn.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các đơn vị truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và xử lý sự cố nhanh nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + đường link sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & An toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.