Mô tả:
Các bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ giữa các hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt cùng công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và hiệu suất phát thải khí thấp, đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất của nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm các bo CPU chính, bo I/O VIOP, bo thu thập nhiệt độ, bo điều khiển nguồn, bo giao tiếp và bo cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu xuất sắc, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, phù hợp hoàn hảo với xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy bán dẫn.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển chính Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh chóng nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong môi trường chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện điểm kết thúc, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Hàng mới chính hãng. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2:What is your payment terms?
A:Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian cụ thể.
Q4:Giao hàng & Theo dõi
A:Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Theo dõi toàn bộ quá trình bởi đội ngũ của chúng tôi.
Q5:Đóng gói & An toàn
A:Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.