Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của hệ thống, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ giữa các hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và hiệu suất phát khí thấp, giúp duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất của nhà máy.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm bo mạch node CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống điều khiển của thiết bị xử lý Lam.
- Bố cục PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng khử nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, phù hợp hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng xử lý.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định trong môi trường nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong nhà máy.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi theo thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh chóng, giúp giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc chính của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong môi trường chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A: Hàng mới chính hãng. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model khan hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A: Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Theo dõi toàn bộ quá trình bởi đội ngũ của chúng tôi.
Q5: Đóng gói & An toàn
A: Đóng gói theo bao bì chính hãng với bảo vệ gia cố (mút xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm và chống va đập.