Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM nguyên bản được thiết kế chuyên biệt cho thiết bị khắc (etching) và xử lý màng mỏng bán dẫn của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại khả năng chống EMI vượt trội, chống rung và độ thoát khí thấp, giúp duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng sản phẩm bao gồm các bo mạch node CPU chính, bo VIOP I/O, bo thu thập nhiệt độ, bo driver nguồn, bo giao tiếp và bo giao diện cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị xử lý Lam.
- Thiết kế PCB nhiều lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, phù hợp hoàn hảo với xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu bên trong buồng quy trình.
- Thành phần điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host của Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và xử lý sự cố nhanh, giúp giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc chủ lực của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và vận chuyển wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với máy chủ thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1:Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A:Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2:Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A:Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3:Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A:Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu khan hiếm cần đặt hàng từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4:Vận chuyển & Theo dõi
A:Hỗ trợ DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + link sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5:Đóng gói & An toàn
A:Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.