Mô tả:
Các bo mạch điều khiển PCB của LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc (etching) bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB đa lớp mật độ cao, chúng mang lại khả năng chống EMI, chống rung và phát khí bay hơi thấp vượt trội, giúp duy trì hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, đảm bảo hiệu quả độ chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất fab.
Thông số kỹ thuật chính:
- Bao gồm toàn bộ dòng bo mạch nút CPU chính, bo mạch I/O VIOP, bo mạch thu thập nhiệt độ, bo mạch driver nguồn, bo mạch giao tiếp và bo mạch giao diện cảm biến, tương thích hoàn toàn với tất cả các hệ thống con điều khiển của thiết bị xử lý Lam.
- Thiết kế bố trí PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền dẫn cao, tối ưu cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng xử lý.
- Sử dụng linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng từ -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu năng ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ VME bus, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, máy quang phổ endpoint và các bộ truyền động servo.
- Tích hợp mạch bảo vệ quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và xử lý sự cố nhanh, giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng tiêu biểu:
- Thiết bị khắc phổ biến của Lam: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện điểm kết thúc, liên động an toàn F&G và tương tác dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao hàng trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & Theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi giao hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & An toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm và chống va đập.