Mô tả:
Bo mạch điều khiển PCB LAM Research là các cụm mạch in lõi OEM chính hãng, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị khắc (etching) bán dẫn và xử lý màng mỏng của Lam. Là xương sống điều khiển trung tâm của thiết bị, các bo mạch này thực hiện xử lý tín hiệu tốc độ cao, điều khiển logic thời gian thực, thu thập dữ liệu I/O chính xác, phân phối nguồn điện và giao tiếp liên hệ thống. Được sản xuất theo tiêu chuẩn phòng sạch bán dẫn nghiêm ngặt và công nghệ PCB mật độ cao nhiều lớp, chúng mang lại hiệu suất chống nhiễu điện từ (EMI), chống rung và giảm thoát khí vượt trội để duy trì vận hành ổn định lâu dài trong môi trường plasma chân không, qua đó đảm bảo chính xác quy trình wafer và năng suất sản xuất fab.
Các thông số kỹ thuật chính:
- Toàn bộ dòng bao gồm các bo mạch nút CPU chính, bo I/O VIOP, bo thu thập nhiệt độ, bo điều khiển công suất, bo giao tiếp và bo giao diện cảm biến, tương thích đầy đủ với tất cả các hệ thống điều khiển của thiết bị quy trình Lam.
- Thiết kế PCB đa lớp cao cấp với kiểm soát trở kháng, khả năng triệt nhiễu tuyệt vời, suy hao tín hiệu thấp và tốc độ truyền cao, phù hợp hoàn hảo cho xử lý tín hiệu RF tần số cao và tín hiệu cảm biến yếu trong buồng quy trình.
- Linh kiện điện tử cấp công nghiệp/ô tô, dải nhiệt độ hoạt động rộng -40°C ~ +85°C, thiết kế bảo vệ ESD nghiêm ngặt, hiệu suất ổn định dưới nhiễu plasma mạnh, nhiệt độ cao và vận hành liên tục 24/7 trong fab.
- Hỗ trợ bus VME, Ethernet, RS232/485 và các giao thức truyền thông độc quyền của Lam, kết nối plug-and-play liền mạch với bộ điều khiển host Lam, mô-đun khí MFC, thiết bị quang phổ endpoint và các đơn vị truyền động servo.
- Mạch bảo vệ tích hợp quá áp, quá dòng, ngắn mạch và quá nhiệt; có cổng debug dự phòng để đọc mã lỗi thời gian thực và khắc phục sự cố nhanh chóng nhằm giảm thời gian dừng thiết bị.
Ứng dụng điển hình:
- Thiết bị khắc Lam phổ biến: 2300 Flex, dòng Kiyo, hệ thống khắc ExAL
- Khắc plasma, lắng đọng màng mỏng PVD/CVD, thiết bị xử lý wafer trong chân không
- Điều khiển thời gian thực nhiệt độ buồng, áp suất, lưu lượng khí, công suất RF và truyền wafer
- Hệ thống phát hiện endpoint, liên động an toàn F&G và trao đổi dữ liệu với host thiết bị
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ tồn kho không?
A: Các model tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các model hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Theo dõi toàn bộ quá trình bởi đội ngũ của chúng tôi.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói thương hiệu gốc với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.