Mô tả:
Điện cực và các bộ phận cách điện của Lam Research là các vật tư tiêu hao và linh kiện cấu trúc quan trọng cho thiết bị khắc, lắng đọng và xử lý plasma trong sản xuất bán dẫn. Điện cực tạo ra và duy trì plasma ổn định cho quá trình chế tạo wafer, trong khi các bộ cách điện hiệu suất cao cách ly mạch và linh kiện để ngăn rò điện, phóng hồ quang và đoản mạch. Được làm từ các vật liệu chuyên dụng đạt chuẩn bán dẫn, các bộ phận này có khả năng điện trở tuyệt vời, độ ổn định nhiệt cao và khả năng chống xói mòn plasma. Chúng hoạt động ổn định trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và RF mạnh, đảm bảo vận hành lâu dài ổn định của buồng quy trình và năng suất sản xuất nhất quán. Tất cả các mặt hàng đều là linh kiện OEM chính hãng với khả năng tương thích hoàn hảo cho các công cụ xử lý wafer của Lam Research.
Thông số kỹ thuật chính:
- Áp dụng vật liệu dẫn điện độ tinh khiết cao cho điện cực và gốm/thạch anh chất lượng cao cho bộ cách điện, mang lại độ bền vượt trội trước ăn mòn plasma.
- Điện cực đảm bảo phân bố plasma đồng đều; bộ cách điện cung cấp cường độ cách điện vượt trội để tránh lỗi phóng điện và hư hỏng thiết bị.
- Chịu được nhiệt độ cao, sốc nhiệt và ứng suất cơ học, duy trì kích thước và hiệu suất chính xác trong vận hành liên tục 24/7.
- Được gia công với dung sai chặt chẽ, phù hợp hoàn hảo với cấu trúc thiết bị gốc để lắp đặt liền mạch và kết quả quy trình ổn định.
- Tương thích hoàn toàn với các hệ thống khắc Lam, CVD, PVD và các hệ thống chân không liên quan. Dễ thay thế để giảm thiểu thời gian dừng sản xuất.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma Lam Research
- Thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD, PVD và ALD
- Buồng xử lý wafer 200mm / 300mm
- Bảo trì dây chuyền sản xuất bán dẫn và thay thế linh kiện dự phòng
FAQ:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, được giao trong vòng 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu hiếm cần đặt từ nhà sản xuất—vui lòng liên hệ bộ phận chăm sóc khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có sẵn DHL/FedEx/UPS. Cung cấp mã theo dõi + liên kết sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Đóng gói chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.