Mô tả:
Máy quang phổ sợi quang LAM Research là các thiết bị giám sát quang học có độ chính xác cao được tích hợp cho thiết bị xử lý wafer bán dẫn. Chủ yếu được ghép nối với các mô-đun quang học chuyên nghiệp, chúng áp dụng thiết kế truyền dẫn sợi quang để thu tín hiệu phổ phát xạ plasma, phản xạ và truyền qua bên trong các buồng quá trình. Được sử dụng rộng rãi cho phát hiện điểm kết thúc khắc (etch endpoint), đo lường màng mỏng và giám sát trạng thái plasma thời gian thực, các thiết bị này đảm bảo hiệu suất quy trình ổn định, cải thiện năng suất sản xuất và giảm sản phẩm lỗi trong các quy trình khắc, CVD, PVD và các quy trình sản xuất chân không khác. Là các thành phần tương thích OEM chính hãng, chúng có khả năng tương thích tuyệt vời và độ tin cậy lâu dài cho các công cụ quy trình dòng LAM đầy đủ.
Thông số kỹ thuật chính:
- Được trang bị các bộ dò CCD/PMT độ nhạy cao, mang lại độ phân giải phổ vượt trội và nhiễu thấp. Bao phủ dải bước sóng UV-visible để đáp ứng các nhu cầu giám sát quy trình bán dẫn đa dạng.
- Giao diện sợi quang SMA tiêu chuẩn hỗ trợ truyền tín hiệu đường dài. Các đầu dò tương thích với môi trường chân không hoạt động ổn định trong môi trường chân không cao, nhiệt độ cao và plasma.
- Phân tích phổ thời gian thực cho phép đánh giá chính xác điểm kết thúc khắc, đo độ dày màng mỏng và tính chất quang học, hiệu quả tránh khắc quá mức và khắc thiếu.
- Cổng giao tiếp Ethernet và RS-232 tích hợp, hoàn toàn tương thích với các giao thức thiết bị LAM để trao đổi dữ liệu và liên kết hệ thống liền mạch.
- Cấu trúc nhỏ gọn và chắc chắn với khả năng chống rung và chống nhiễu. Hỗ trợ vận hành liên tục 24/7 và thay thế tại chỗ dễ dàng.
Ứng dụng điển hình:
- Hệ thống khắc plasma, thiết bị lắng đọng màng mỏng CVD, PVD và ALD
- Phát hiện điểm kết thúc cho các quy trình khắc wafer
- Đo độ dày màng mỏng và độ phản xạ tại chỗ
- Phân tích trạng thái plasma thời gian thực cho các buồng quá trình chân không
- LAM Research 2300, 9400, ExAL và các nền tảng quy trình chính khác
Câu hỏi thường gặp:
Q1: Tình trạng sản phẩm và bảo hành như thế nào?
A: Hàng chính hãng mới 100%. Bao gồm bảo hành 1 năm.
Q2: Điều khoản thanh toán của bạn là gì?
A: Hỗ trợ T/T, Paypal.
Q3: Thời gian giao hàng của sản phẩm là bao lâu? Có đủ hàng tồn kho không?
A: Các mẫu tiêu chuẩn có sẵn trong kho, giao trong 3–5 ngày làm việc sau khi thanh toán. Các mẫu hiếm cần đặt hàng từ nhà sản xuất—liên hệ dịch vụ khách hàng để biết thời gian.
Q4: Vận chuyển & theo dõi
A: Có DHL/FedEx/UPS. Mã theo dõi + liên kết được cung cấp sau khi gửi hàng. Đội ngũ chúng tôi giám sát toàn bộ quá trình.
Q5: Đóng gói & an toàn
A: Bao bì chính hãng với bảo vệ gia cố (bọt xốp, thùng carton niêm phong, thùng gỗ cho thiết bị chính xác). Chống ẩm & chống va đập.